氣體檢測/測漏(lou)流量計
簡要描述：
氣(qì)體檢測/測漏流(liu)量計傳感器靈(líng)敏度高,有極小(xiǎo)的始動流量
- 傳(chuan)感器芯片采用(yòng)熱質量流量計(ji)量,無需溫度壓(yā)力㊙️補償,保證✂️了(le)傳
- 感器的高精(jīng)度計量
- 在單個(ge)芯片上實現了(le)多傳感器集成(chéng),使傳感器的量(liang)程比大大提高(gao)
- 傳感器的零點(diǎn)穩定度高 全量(liang)程高穩定性
氣(qì)體檢測/測漏流(liu)量計
産品簡介(jiè)：
FS4001系列小流量氣(qì)體質量流量傳(chuán)感器是專門爲(wèi)各類小🔴流👅量氣(qi)體的測量和過(guo)程控制而設計(jì)的。這一系列傳(chuán)感器均采用本(ben)公司自主研發(fa)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳🔱感芯片(piàn)來制作，适用于(yú)各類清🐅潔氣體(tǐ)。*的封裝技術使(shǐ)之可用于各類(lèi)管徑，成本低、易(yì)安裝、不需要溫(wēn)度壓力㊙️補償，可(ke)替代容積式或(huo)壓♉差式的傳統(tong)🏃🏻流量傳感器。
氣(qi)體檢測/測漏流(liú)量計産品特點(diǎn)：
- 傳感器靈敏度(dù)高,有極小的始(shǐ)動流量
- 傳感器(qi)芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無(wú)需溫度壓力補(bu)償,保證了傳
- 感(gǎn)器的高精度計(jì)量
- 在單個芯片(piàn)上實現了多傳(chuán)感器集成,使傳(chuán)感器的👨❤️👨量程比(bi)大大🏃🏻提高
- 傳感(gan)器的零點穩定(dìng)度高
- 全量程高(gāo)穩定性
- 全量程(cheng)高精确度和優(you)良的重複性
- 低(di)功耗
- 低壓損
- 響(xiǎng)應時間快
主要(yào)參數：
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性能參數(shu) |
單位 |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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zui大流(liu)量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比 |
2132132132131231312100:1 |
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精 度(dù) |
±（1.5+0.2FS） |
% |
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重複性 |
0.25 |
%讀數 |
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零(ling)點輸出飄移 |
±30 |
mV |
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輸(shu)出飄移 |
±0.12 |
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響應時(shí)間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源 |
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350 |
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zui大工作壓(yā)力 |
0.5 |
MPa |
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工作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存(cún)儲溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕(shi)度 |
<95%RH（無結冰、無凝(níng)露） |
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機械接口 |
可(ke)拆式軟管接頭(tou) |
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空氣(qì)（或其他氣體），20oC，101.325kPa |
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重(zhong)量 |
15 |
g |
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