産品時間:2025-12-07
FS4001系列小(xiao)流量氣體質量(liàng)流量傳感器是(shì)專門爲各類🧑🏾🤝🧑🏼小(xiao)流量氣體🥰的測(ce)量和過程控制(zhi)而設計的。這一(yi)系列傳感器均(jun)采用本公司自(zì)主研發的微機(ji)電系統🌍(MEMS)流量傳(chuan)感芯片來制作(zuo),适用于各類清(qīng)潔氣體。*的封🧑🏾🤝🧑🏼裝(zhuāng)技術使之可用(yòng)于各類管徑,成(chéng)本低、易安裝、不(bú)需要溫度壓力(li)補償,可替代容(róng)積式或壓差式(shì)的傳統✊流量傳(chuán)感器。
産品簡介(jie):
FS4001系列小流量氣(qì)體質量流量傳(chuán)感器 是專門爲(wèi)各類小流量氣(qi)體的測量和過(guo)程控制而☔設計(ji)的。這♋一系列傳(chuán)感器均采用本(ben)公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)🈲(MEMS)流量✨傳感芯片(piàn)來制作,适用于(yú)各類🏃清潔氣體(ti)。*的封裝技術使(shi)之可🐆用于各類(lei)管徑,成本低、易(yì)安裝、不需要溫(wēn)🏃度壓力補償,可(ke)替代容積式或(huò)🏃♀️壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
産(chan)品特點 :
FS4001系(xì)列小流量氣體(ti)質量流量傳感(gǎn)器
靈敏度高,有(you)小的始動流量(liàng)傳感器芯片采(cai)用熱質🌏量流量(liàng)計量,無需溫度(du)壓力補償,保證(zhèng)了傳感器的高(gāo)精度計量在📱單(dan)個芯片上實現(xian)了多傳感器集(jí)成,使傳感🚶器的(de)量程比大大提(ti)高傳感器的零(líng)點穩定度高全(quan)量程高穩定🚶♀️性(xìng)全量程🎯高精确(què)度和優良的重(zhong)複性低功耗低(dī)壓損響應時間(jian)快
主要參數:
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性(xing)能參數 |
FS4001 |
單位 |
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通(tōng) 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SCCM |
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量程(cheng)比 |
≥100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性(xing) |
0.25 |
%讀數 |
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零點輸出(chu)飄移 |
±30 |
mV |
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輸出飄移(yí) |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作(zuo)電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式(shi) |
線性,RS232/模拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc |
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大流量壓損 |
350 |
300 |
pa |
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大(da)工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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工作(zuo)溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度(dù) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH(無結(jié)冰、無凝露) |
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機械(xiè)接口 |
可拆式軟(ruǎn)管接頭 |
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校準方(fang)式 |
空氣(或其他(tā)氣體),20oC,101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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機械(xiè)尺寸:
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