産品時間：2025-12-07
FS4001系列測(ce)量氣體流量傳(chuán)感器是專門爲(wei)各類小流量🆚氣(qi)體的測量和過(guo)程控制而設計(jì)的。這一系列傳(chuán)感器均采用本(běn)公司自主研發(fa)的微機電系統(tong)（MEMS）流量傳感芯片(piàn)來制作，适用于(yu)各類清潔氣體(ti)♊。
簡介：
FS4001系列測量(liang)氣體流量傳感(gǎn)器 是專門(mén)爲各類小流量(liàng)氣體的測量和(hé)過程控制而設(shè)計的。這一系列(lie)傳感器均采用(yòng)本公司自主研(yán)發的微機電❌系(xì)統（ MEMS ）流量傳(chuán)感芯片來制作(zuò)。
FS4001系列測量氣體(tǐ)流量傳感器 适用于各類(lei)清潔氣體。*的封(fēng)裝技術使之可(ke)用于各類🔞管徑(jing)，成本⭕低、易安裝(zhuang)、不需要溫度壓(ya)力補償，可替代(dai)容積式或壓差(cha)式🙇🏻的傳統流量(liàng)傳感器。
産品特點：
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傳感器靈敏(mǐn)度高
,
有極(jí)小的始動流量(liang)
-
傳感器芯(xīn)片采用熱質量(liàng)流量計量
,
無需溫度壓力(li)補償
,
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感器(qi)的高精度計量(liàng)
-
,
低功(gong)耗
-
響應時間(jiān)快
主要參(cān)數：
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單(dan)位 |
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通 徑 |
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mm |
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大流量(liang) |
30, 100, 200 |
SLPM |
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量程比 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重(zhong)複性 |
%讀數 |
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零點(dian)輸出飄移 |
±30 |
mV |
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±0.12 |
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響應時間(jiān) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出(chu)方式 |
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350 |
300 |
pa |
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大工作壓力(lì) |
0.5 |
MPa |
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工作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲(chǔ)溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度(du) |
<95%RH（無結冰、無凝露(lù)） |
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機械接口 |
可拆(chāi)式軟管接頭 |
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校(xiào)準方式 |
空氣（或(huo)其他氣體），20oC，101.325kPa |
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15 |
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86-020-85628533
