産品時間(jian)：2025-12-07
mf4001廣東微(wei)小口徑氣體質量(liàng)流量計是專門爲(wèi)各類小流量氣體(tǐ)的測量和過程控(kong)制而設計的。這一(yī)系列傳感器均采(cai)用⚽本公司自主研(yan)發的微機電系統(tong)（MEMS）流量傳感芯片來(lái)制作，适用于各類(lei)清潔氣體。*的封裝(zhuang)技術使之可用于(yú)各類管徑，成本低(dī)、易安裝、不需要溫(wēn)度壓力補償，可替(tì)代容積式或壓差(cha)♌式的傳統流量傳(chuán)感器。
mf4001廣東微小口徑氣(qì)體質量流量計
産品特點：
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傳感器靈敏度高(gao)
,
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傳感(gan)器芯片采用熱質(zhì)量流量計量
,
無需溫度壓力補(bǔ)償
,
保證了傳(chuan)
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感器的高精(jīng)度計量
-
在單(dan)個芯片上實現了(le)多傳感器集成
使傳感器的量(liang)程比大大提高
-
傳感器的零點(diǎn)穩定度高
低功耗
低壓損
mf4001廣東微(wei)小口徑氣體質量(liàng)流量計
主(zhu)要參數：
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性能參數(shù) |
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1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量(liàng) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比 |
>100：1 |
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±(1.5+0.2FS) |
% |
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%讀數 |
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零點輸出(chū)飄移 |
±30 |
mV |
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輸出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源(yuan) |
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輸出方式 |
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350 |
300 |
pa |
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大工作壓力 |
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MPa |
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工(gong)作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH（無結冰(bing)、無凝露） |
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機械接口(kou) |
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校準方式 |
空氣（或(huo)其他氣體），20oC，101.325kPa |
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重量 |
15 |
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86-020-31199948/85550363
